Elaboration and characterization of nanoporous SU-8 template using PMMA as porogen Article - Juin 2021

Duc Tu Vu, Thi Nhung Pham, Chia-Chen Hsu, Henri Benisty, Ngoc Diep Lai

Duc Tu Vu, Thi Nhung Pham, Chia-Chen Hsu, Henri Benisty, Ngoc Diep Lai, « Elaboration and characterization of nanoporous SU-8 template using PMMA as porogen  », Journal of Porous Materials, juin 2021, pp. 813-823. ISSN 1380-2224

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